dinaalviani
Cara Kerja Pertama-tama dilakukan suatu upaya untuk menghilangkan penumpukan elektron (charging) di permukaan obyek, dengan membuat suasana dalam ruang sample tidak vakum tetapi diisi dengan sedikit gas yang akan mengantarkan muatan positif ke permukaan obyek, sehingga penumpukan elektron dapat dihindari.Hal ini menimbulkan masalah karena kolom tempat elektron dipercepatdan ruang filamen di mana elektron yang dihasilkan memerlukantingkat vakum yang tinggi. Permasalahan ini dapat diselesaikan denganmemisahkan sistem pompa vakum ruang obyek dan ruang kolom sertafilamen, dengan menggunakan sistem pompa untuk masing-masing ruang.Di antaranya kemudian dipasang satu atau lebih piringan logam platina yang biasa disebut (aperture) berlubang dengan diameter antara 200 hingga 500 mikrometer yang digunakan hanya untuk melewatkan elektron , sementara tingkat kevakuman yang berbeda dari tiap ruangan tetap terjaga.